• 高真空濺鍍機
    高真空濺鍍機

高真空濺鍍機SP-HC1500

一、設備組成:

1. 本設備為單室結構的磁控濺射鍍膜設備,主要用於在高分子材料和金屬表面用磁控濺射的方法將銅和鎳濺射上去,厚度約1~5μm;(設備驗收考核以能夠製備優質氮化鈦塗層為主。)
2. 工件最大迴旋尺寸Φ320要求常規尺寸能夠公自轉,
3. 根據膜層的厚度要求按8 小時計算,每天生產最大規格12爐。
4.該設備主要由濺射室、磁控靶、冷陰極離子源、濺射電源、離子清洗電源或(加熱功能)、偏壓電源、樣品轉臺、真空獲得部分(泵抽系統)、真空測量系統、3路獨立氣路系統、水路系統、控制系統等各部分組成。
二、技術指標:
◆ 極限真空:濺射室(經烘烤)真空度極限≤8×10-5Pa 
◆ 系統漏率:停泵關機12 小時後,濺射室真空度可達≤20Pa
◆ 系統抽速:工作真空:短時間暴露大氣開始抽氣,40 分鐘內真空度≤8×10-4Pa
◆ 濺射靶:四隻非平衡平面磁控濺射靶在真空室的一周均勻(90 度)對稱 放置,組成一個封閉的閉合磁場系統(見示意圖 1);靶體做成手動可移動調節。還有一支條形離子源長度800mm用於離子清洗樣品,都配有自動擋板,要求擋的嚴實。
◆ 供氣系統:採用三路MFC 供氣。
1、濺射真空室結構
1.1、結構形式及尺寸: 真空室約φ1200×H1100mm,為圓形截面全不銹鋼立式前開方門結構,真空室,材料均採用304 優良材質不銹鋼製造,板厚8mm,真空室外面做盤管水冷系統。零件加工工藝、部件裝配工藝嚴格按照真空規模執行,保證該真空室具有高真空度、高清潔度,從而保證了工件的成膜純度。 
1.2、真空室側面主要介面佈局:真空室側面上開有磁控靶介面;氣體離子源介面。
1.3、真空室底板主要抽氣介面佈局:真空室底板開有樣品轉臺介面、規管測量介面等。
1.4、真空室門主要介面佈局:真空室門板上裝有磁控濺射靶一隻。
1.5、法蘭、觀察窗、密封件:φ100 觀察窗 1個》大法蘭密封口、樣品轉臺安裝、轉動密封口及矩形磁控靶、真空室大門、離子源的密封等均採用氟橡膠圈密封,其餘全部採用CF 或KF 系列金屬圈密封。
2、真空抽氣與測量系統:
2.1、主抽系統:真空室抽氣採用1台F400/3600 分子泵(英文商標)配CCQ-400 氣動檔板閥和光柵閥開度可調,+1 台8L/S維持泵(型號D30C)德國萊寶,另配 1 台SV300(70L/S) 作為粗抽泵與真 空室連接。
2.2、真空測量:採用MKS 型複合數顯真空計測量真空度。
3、樣品轉臺的結構及安裝形式
3.1、真空室下底盤裝樣品轉臺(主軸絕緣),轉臺上可安裝8根自轉軸,配 16 根長400mm 直徑 12mm 轉軸杆,轉臺可連續回轉,0~15 轉/分連續可調。不重合設計。 
3.2、樣品轉臺可加負偏壓≥-1500V。
4、磁控靶的結構及安裝形式:
4.1、磁控靶均勻佈置在真空室側壁及門上,垂直濺射成膜。靶材尺寸四隻均為 H800mmx L70mm,設置有自動擋板,相對於基片距離約60~150mm,手 動伸縮可調(調靶)。
5、氣路系統、水冷系統
5.1、真空室放氣:真空室解除真空時,採用一路氣動放氣。
5.2、濺射用工作氣路:
◆ 採用品質流量控制器三台控制進氣,以及閥門、管路、接頭,組裝成的工作氣路三條;經手動和自動進入真空室。
◆ 備有氣體混合用混氣室一個三路進,一路出 。
5.3、加冷卻水匯流排
6、電源控制系統
6.1、總控制電源:分子泵機組、擋板閥、電磁閥、水流報警、擋板、樣品台轉動、節流抽速擋板等。
6.2、平面磁控靶電源(AE       )N=20KW                             一台
6.3、樣品轉動控制電源: 變頻調試                                    一套
6.4、偏壓電源:脈衝直流-1000V( AE  )N=20kw                    一台
7、清洗離子源                                                       1
8、電腦控制系統:採用電腦觸摸屏操作有自動模式和手動模式,連接 PLC 及控制軟體,可以控制及顯示如下內容:控制真空機組的自動抽氣、濺射室真空度顯示、工作真空度的設定及各電源的控制、樣品公轉和自轉速度、擋板系統的控制、報警等。自動模式狀態下,操作人員只要按下自動運行按鍵,就能自動運行,直到加工完成後自動停止。自動控制系統應留有若干可擴展介面,以備擴展使用。
9、其他:PLC 採用日本三菱公司生產的 FX-IN-60 產品,另加擴展;工件公自轉變頻器採用日本富士通生產的E9S-0.75 系列產品;本機配置 19 英寸標準電器控制櫃 2只,表面噴塑處理,美觀大方,操作方便,本機控制電器均採用LE及歐姆龍、施耐德產品。
安裝機台組件:用優質鋼型材焊接而成,快卸圍板表面噴塑處理。
10、相關規格的金屬密封銅圈,氟橡膠密封圈:                全套
11、不銹鋼緊固螺栓、螺母、墊片等:                        全套